泰曼-格林干涉仪是什么?

泰曼-格林干涉仪是一种用于测量光学元件、组件、系统和光学级机械表面的表面形状和透射波前质量的激光干涉仪配置。

在泰曼-格林激光干涉仪中,光源光束被准直,然后被分束器分束。“参考光束”指向高质量的参考镜。“测试光束”指向测试表面。可通过使用发散透镜或扩束器对测试波前进行整形,以匹配测试表面或系统的凹凸曲率。

泰曼格林干涉仪(泰曼格林激光干涉仪)示意图-4D技术188bet金宝搏手机网页

泰曼格林干涉仪测量表面形状

当两个反射光束通过分束器返回时,它们重新组合,形成干涉图样。这种模式是由于测试表面和“完美”参考表面之间的差异引起的相位变化。传感器将此干扰模式记录为单个采集帧。

泰曼-格林干涉仪干涉条纹- 4D技术188bet金宝搏手机网页

相移干涉法结合了多帧数据来测量测试表面上所有点的高度,从而精确地量化表面形状。有几种方法可用于获取多个帧。典型的方法是通过在帧之间移动参考镜来引入小的系统相移。这种方法可以说是一种“帧速率”有限的技术。

动态干涉测量:振动时的测量

188bet金宝搏手机网页4D技术的泰曼格林干涉仪采用了不同的方法。这些仪器使用基于偏振的动态干涉法®同时收集四帧数据的技术。四分之一波片被引入到测试光束和参考光束中,赋予不同的偏振态。

泰曼-格林激光干涉仪- 4D技术188bet金宝搏手机网页

在相机之前引入的一个元素将数据分成四个阶段,传感器可以同时对这些阶段进行成像。

动态干涉仪利用光的偏振特性将测量光束分为四个相位进行同时测量-4D技术188bet金宝搏手机网页

动态干涉测量技术的优点是曝光有限。采用动态干涉测量法,采集时间短至几微秒。这种令人难以置信的快速采集冻结了振动和湍流,即使在嘈杂的环境中也能产生出色的测量结果。

188bet金宝搏手机网页4D技术开创了动态干涉法对于单帧,定量相位测量。

泰曼-格林干涉仪的优点

与其他类型的干涉仪相比,泰曼-格林干涉仪有几个关键优势。

在困难地点测量

紧凑的光学设计使得测量头很小,很容易在狭小的空间内定位。激光源可以通过光纤电缆连接到头部,从而将发热元件从光学元件上移开。综合结果:在有挑战性的位置轻松定位。

尽管有振动,但没有隔离措施

动态相位ecam干涉仪不需要隔振。这一优势在测量大的光学或测量长路径时尤为关键,因为隔离系统的成本非常昂贵。干涉仪甚至不需要耦合到测试光学,进一步简化了设置。

没有昂贵参考的测量

菲索干涉仪,昂贵的,高质量的参考传输(平面或球面)光学是必需的。泰曼-格林干涉仪不需要这种外部参考光学。

远程操作

所有功能的电动控制意味着PhaseCam Twyman-Green可以在测量塔、真空室、环境室和其他具有挑战性的位置进行远程操作。

无需校准

由于没有像时间干涉仪那样的机械相移,零件少,没有精密的高压压电陶瓷驱动器,泰曼格林相位相机总是精确的。

高分辨率

泰曼-格林干涉仪固有的轴上设计意味着高分辨率和精度内置到PhaseCams。

测量低回流系统或高反射表面

偏振控制可以让你匹配测试和参考光束的能量,以优化条纹对比度。该功能可以显著提高测量噪声地板和垂直分辨率。可以支持广泛的测试设置反射率,并可以实现良好的对比,即使在低回报的设置。

动态泰曼-格林干涉仪可以在具有挑战性的环境中进行测量-4D技术188bet金宝搏手机网页

188bet娱乐平台动态泰曼-格林干涉仪的应用

泰曼格林干涉仪特别适合测量:

  • 大,凹光学
  • 慢速f/#凹面组件
  • 聚焦光学系统
  • 非球面光学
  • 低回报设置
  • 在环境室和压力容器中
  • 超长测量路径
  • 在测量塔或其他难以接近的位置
  • 内部抛光设备原位过程反馈
  • 移动系统,如柔性膜、自适应光学和驱动/旋转部件。
动态泰曼-格林干涉仪测量凸面镜

188bet金宝搏手机网页4D技术的泰曼-格林激光干涉仪范围

4D技术的泰曼绿相Cam激光干涉仪在高性能和创新方面一直处于行业领先地位。188bet金宝搏手机网页

4D Twyman绿色激光干涉仪具有从可见光到3.39微米的可用波长、行业领先的分析软件和一系列高质量附件,具有难以置信的价值和灵活性。

4D泰曼-格林激光干涉仪

PhaseCam 6110高分辨率tw - green激光干涉仪

4MP传感器、光纤耦合测量头和电动控制使得这款非常小的PhaseCam 6110非常适合长路径测量和远程安装。用于远程安装在测量塔或压力容器,以及其他具有挑战性的测试设置。

PhaseCam 6010泰曼绿光激光干涉仪

PhaseCam 6010具有微小、易于定位、光纤耦合测量头、4MPx摄像头和电动控制,是在线计量、远程安装在测量塔或压力容器和其他具有挑战性的环境的理想选择。

PhaseCam 4030 tw - green激光干涉仪

PhaseCam 4030具有4mpx摄像头、简单的手动控制和抗振性。灵活和低成本的实验室或车间。

相位扫描近红外激光干涉仪

重量轻,对振动不敏感,适用于近红外(1.053、1.064、1.3和1.55微米)波长的表面和波前测量。

PhaseCam SWIR激光干涉仪

结构紧凑,重量轻,振动不敏感,适用于1.55微米波长的精确表面和波前测量。

相位扫描中波红外激光干涉仪

3.39微米波长的精确表面和波前测量。这种振动免疫系统在动态模式下工作,以适应洁净室等恶劣环境,或在传统的时间移相模式下工作。是红外光学、聚焦光学系统和无焦组件质量验证的理想选择。

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