什么是斐索干涉仪?

菲索干涉仪是一种激光干涉仪配置,通常用于测量光学和光学级表面的表面形状和传输质量。

在斐索激光干涉仪中,分束器将光束从激光源中分离出来。“参考光束”指向高质量表面。“测试光束”指向测试表面,或通过测试光学元件指向高质量反射镜。

斐索干涉仪(斐索激光干涉仪)图-4D技术188bet金宝搏手机网页

菲索干涉仪测量表面高度或透射波前误差

当两个反射光束通过分束器返回时,它们在传感器(相机)处重新组合。当光束重新组合时,形成干涉图样。这种模式是由于相位变化引起的测试和“完美”的参考表面之间的差异。传感器将此干涉图记录为单个测量帧。

菲索干涉仪干涉条纹-4D技术188bet金宝搏手机网页

通过组合多个数据帧,可以测量测试表面上所有点的高度,或量化光束通过光学元件引起的波前变化。有几种方法可以获取多个帧。

时间相移菲索干涉仪

在“相移”菲索干涉仪中,基准相对于试验表面以精确增量移动。这些增量是源波长的分数,或几十到几百纳米。仪器在每次增量移动后获取一帧数据。然后使用完整的测量帧序列来计算表面高度或波前误差。

相移菲索干涉仪-4D技术188bet金宝搏手机网页

相移干涉仪受振动和湍流的限制

相移干涉仪的挑战在于,在获取测量数据的过程中,时间会流逝。虽然时间很短(几百或几千毫秒),但足够长,振动和空气湍流会降低或破坏测量。

为了克服这种环境,时间相移系统必须与振动和湍流隔离。通常,这是通过将系统从生产车间移入专用计量实验室,并使用重型隔振台来实现的。这些措施可能成本高昂,需要宝贵的生产空间。

动态菲索干涉仪克服了振动和湍流

在动态菲索干涉仪中,所有的相移都是在空间上完成的,而不是随着时间的推移。摄像机前引入的一个元件将数据分为四个阶段,传感器可以同时成像。极短的采集时间意味着振动和湍流被有效冻结,尽管存在振动或湍流,仍能产生出色的测量结果。

188bet金宝搏手机网页4D技术开创了动态干涉法®. 在4D动态菲索干涉仪中,微偏振器传感器阵列用0、90、180和270度的四个相移对捕获的图像进行空间编码,从而实现单帧定量相位测量。

动态菲索干涉仪利用光的偏振特性,将测量光束分为四个相位进行同时测量-4D技术188bet金宝搏手机网页

动态菲索干涉仪在复杂环境中的测量

动态菲索干涉仪在无隔振的噪声环境中测量。事实上,动态斐索干涉仪将测量更多如果存在振动并对多个数据帧进行平均,则准确地进行。

因为它们可以在没有隔离的情况下工作,所以抗振动斐索仪器可以在生产车间环境中有效地进行测量。它们适用于洁净室,在那里,噪音大的泵和空气处理器使得时间相移测量具有挑战性。在模拟空间条件的低温真空试验中,动态系统甚至可以在压力室内用来测量空间约束光学器件。

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188bet金宝搏手机网页斐索激光干涉仪的4D技术范围

来自4D技术的斐索干涉仪在高性能和创新方面一直处于行业领188bet金宝搏手机网页先地位。我们率先开发了动态干涉测量技术;以高分辨率计量技术引领陡坡和沥青测量领域;建立了测量平面平行光学的短相干源模型;生产了大量的斐索坐骑和配件。

4D Fizeau干涉仪的可用波长从193 nm到10.6微米,孔径从33 mm到800 mm,以及业界领先的分析软件,在价值、灵活性和长期投资价值方面胜过所有其他系统。

4D斐索激光干涉仪产品188bet亚洲体育手机

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AccuFiz-Fizeau激光干涉仪

灵活,经验证和负担得起,AccuFiz Fizeau激光干涉仪适合密闭的实验室空间,并在任何环境下提供高稳定性。我n波长从355 nm到1.064µm,孔径从33 mm到800 mm,AccuFiz系统可用于广泛的应用。188bet娱乐平台

Fizeau干涉仪-FizCam动态Fizeau干涉仪

短相干菲索干涉仪

测量薄至200微米的透明平行光学元件的两侧、多表面光学系统中的表面、远程空腔测试装置以及标准具(激光棒)等固体空腔。

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