动态干涉法

4D动态干涉仪使用专利,瞬时相位传感器,以极端精度测量表面的形状,尽管振动和环境噪声。

压力容器内的动态干涉仪(左图)测量了一个大的低温真空室(由JAXA提供)内的空间反射镜。

相移干涉法的局限性

在过去,相移干涉仪(PSI)最大的限制是它们对振动和空气湍流的敏感性。传统的时域移相干涉仪对振动特别敏感,因为干涉数据的帧是连续采集的,超过几百毫秒。暴露时间足够长,以至于振动和空气湍流导致数据帧之间不可预测的相位转换。测量精度大大降低,有时环境非常恶劣,测量根本无法执行。

动态干涉仪测量振动

动态干涉法®使所有测量数据同时采集成为可能,采集时间短,振动和湍流被有效冻结。在4D动态干涉仪中,使用微偏振传感器阵列对捕获的干涉仪图像进行空间编码,使之具有0、90、180和270四个相位位移,使单帧、定量相位测量成为可能。

动态干涉仪利用光的偏振性将测量光束分成四个阶段并同时测量这四个阶段。

188bet金宝搏手机网页4D技术率先使用动态干涉测量,并已成为该领域近二十年的主要创新者。

4D拥有多项美国和国际专利的技术和应用,包括188bet娱乐平台美国专利6304,330、6552、808、7230,717项(其他专利)。

在车间的洁净室进行测量

由于曝光时间很短,振动的影响被有效地消除了,即使在嘈杂的环境下,精度也大大提高了。事实上,动态干涉仪将提供更准确的测量,如果振动存在和几个数据帧的平均。

动态干涉法可以实现传统上用时间相移仪器难以或不可能实现的测量。动态系统可以在没有空气隔离表的车间中使用,也可以在洁净室中使用,在洁净室中,泵和空气处理器的噪音使传统的测量方法极具挑战性。

动态干涉仪利用光的偏振性将测量光束分成四个阶段并同时测量这四个阶段。

手持式、机器人式或非隔离式安装在狭小空间中

测量可以在多个表之间,通过窗户进入环境室,并超过了很长的距离。奇怪的形状、瞳孔模糊、信号对比度差、运动部件、空气湍流和机械振动都不是问题。

动态干涉仪利用光的偏振性将测量光束分成四个阶段并同时测量这四个阶段。

测量移动系统

动态干涉仪已经开发出来,可用于各种波长的光。其他系统的特点是高空间分辨率,以测量陡峭的斜坡,高功率的来源,低回报的设置,和非常小的形状因素,手持使用或安装在线生产测量。

极短的曝光时间也使动态干涉仪能够分析移动或振动系统。随着时间的推移,旋转盘、驱动微装置、薄镜子和许多其他系统的振动模式可以被准确地评估。

四维动态干涉仪

Twyman-Green干涉仪

擅长快速、可重复测量凹、平、凸光学的表面形状和透射波前误差。

菲佐干涉仪

测量透明、平行光学的两面,薄如200微米,多表面光学系统的表面,远程空腔测试设置,和实体空腔如etalons(激光棒)。

动态光学分析器

NanoCam测量表面粗糙度的涂层和未涂层表面,以确保抛光过程的质量。

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