动态干涉法

4D动态干涉仪使用获得专利的瞬时相位传感器测量表面形状,尽管存在振动和环境噪声,但测量精度极高。

压力容器内的动态干涉仪(左)测量大型低温真空室内的空间约束镜(由JAXA提供)。

相移干涉法的局限性

过去,相移干涉仪(PSI)最大的限制是对振动和空气湍流的敏感性。传统的时间相移干涉仪对振动特别敏感,因为干涉数据帧是在数百毫秒内连续采集的。曝光时间足够长,振动和空气湍流会导致数据帧之间不可预测的相移。测量精度大大降低,有时环境非常恶劣,根本无法进行测量。

动态干涉仪测量振动

动态干涉法®使同时获取所有测量数据成为可能,采集时间短,振动和湍流被有效冻结。在4D动态干涉仪中,微偏振器传感器阵列用于对捕获的干涉图像进行空间编码,具有0、90、180和270度的四个相移,从而实现单帧定量相位测量。

动态干涉仪利用光的偏振将测量光束分成四个相位,并同时测量所有四个相位。

188bet金宝搏手机网页4D技术开创了动态干涉测量的应用,近20年来一直是该领域的主要创新者。

4D在技术和应用方面拥有多项美国和国际专利,包括188bet娱乐平台美国专利6304330、6552808和7230717(其他专利正在申请中)。

在车间、洁净室测量

由于曝光时间很短,有效地消除了振动的影响,即使在嘈杂的环境中也能大大提高精确度。事实上,如果存在振动并且对几个数据帧进行平均,动态干涉仪将提供更精确的测量。

动态干涉测量使传统上难以或不可能使用时间相移仪器进行的测量成为可能。动态系统可以在没有空气隔离台的车间使用,也可以在噪声较大的泵和空气处理设备使传统测量非常困难的洁净室使用。

动态干涉仪利用光的偏振将测量光束分成四个相位,并同时测量所有四个相位。

手持式、机器人式或非隔离式安装,空间狭小

测量可以在多张桌子之间进行,通过窗户进入环境室,并在长距离的间隔距离内进行。形状奇怪、瞳孔模糊、信号对比度差、运动部件、空气湍流和机械振动都不是问题。

动态干涉仪利用光的偏振将测量光束分成四个相位,并同时测量所有四个相位。

测量移动系统

动态干涉仪已被开发用于各种波长。其他系统具有测量陡坡的高空间分辨率,用于低回报设置的高功率源,以及用于手持或在线安装生产测量的非常小的外形尺寸。

极短的曝光时间也使动态干涉仪能够分析移动或振动系统。随着时间的推移,可以准确地评估旋转圆盘、驱动微器件、薄反射镜和许多其他系统的振动模式。

四维动态干涉仪

泰曼格林干涉仪

擅长于快速、可重复测量凹、平、凸光学元件的表面形状和透射波前误差。

菲索干涉仪

测量平面和焦点光学元件,包括测量薄至200微米的透明平行光学元件的两侧。在多表面光学系统、远程空腔测试装置和标准具(激光棒)等固体空腔中测量表面。

动态光学轮廓仪

纳米摄像头测量涂层和未涂层表面的表面粗糙度,以确保抛光过程的质量。

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