动态干涉法

4D动态干涉器使用专利的瞬时相位传感器来测量具有极高精度的表面形状,尽管存在振动和环境噪声。

压力容器内部的动态干涉仪(左)测量大,低温真空室内的空间镜镜(礼貌Jaxa)。

相移干涉测量的局限性

在过去,相移干涉仪(PSI)的最大限制是它们对振动和空气湍流的敏感性。传统的时颞相移干涉器对振动特别敏感,因为干涉数据的帧被顺序获取,超过数百毫秒。曝光时间足够长,使振动和空气湍流导致数据帧之间不可预测的相移。测量精度大大减少,有时环境足够糟糕,以至于无法进行测量。

尽管振动,动态干涉计测量

动态干涉法®可以同时获取所有测量数据,具有这种短的采集时间,振动和湍流有效地冻结。在4D动态干干仪中,微偏光镜传感器阵列用于对捕获的干涉图像进行空间编码,其四个相移分别为0、90、180和270度,可实现单帧定量相位测量。

动态干涉仪使用光的偏振来将测量光束分成四个阶段并同时测量所有四个阶段。

188bet金宝搏手机网页四维技术是使用动态干涉测量技术的先驱,在近20年的时间里一直是该领域的主要创新者。

四维拥有多项美国及国际专利,包括188bet娱乐平台美国专利6,304,330,6552,808和7,230,717(其他专利申请)。

在洁净室里衡量车间

由于曝光时间如此短,因此有效地消除了振动的效果,即使在嘈杂的环境中也能够提高更高的精度。实际上,如果存在振动并且平均若干数据帧,则动态干涉仪将提供更准确的测量。

动态干涉测量使传统上难以或不可能具有时间相移器械的测量。动态系统可在车间上使用,没有空气隔离桌,或在洁净室中,嘈杂的泵和空气处理程序使传统测量非常具有挑战性。

动态干涉仪使用光的偏振来将测量光束分成四个阶段并同时测量所有四个阶段。

手持式,机器人或未经暗的安装在狭小空间内

测量可以通过窗户之间的多个桌子,进入环境室,并且在长时间的脱扣距离上。奇怪的形状,瞳孔遮掩,信号对比度差,运动部件,空气湍流和机械振动不是问题。

动态干涉仪使用光的偏振来将测量光束分成四个阶段并同时测量所有四个阶段。

测量移动系统

动态干涉仪已被开发用于各种波长。其他系统具有测量陡坡的高空间分辨率、用于低回报装置的高功率源、用于手持使用或安装在生产线上的非常小的形状因素。

极短的曝光时间还使动态干涉仪能够分析移动或振动系统。旋转盘,致动微器件,薄镜等许多其他系统的振动模式可以随时间准确评估。

4D动态干涉仪

Twyman-Green干涉仪

在表面形状的快速,可重复测量和凹形,扁平和凸光学器件的透射波前误差时求远。

菲佐干涉仪

测量平坦和焦点光学器件,包括测量透明,并联光学器件的两侧,如200微米一样薄。测量多表面光学系统中的表面,远程腔试验设置和固体腔,如标准具(激光棒)。

动态光学分析器

nanocam.测量涂层和未涂层表面的粗糙度,以确保抛光过程的质量。

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