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晶片
4 dPhaseCam特威曼-格林干涉仪是工业上用于测量直径从几毫米到几十米的凹球面光学的选择。
4 d的AccuFiz菲佐干涉仪可以测量直径达300mm的晶圆片的平整度。独特的AccuFiz SIS测量晶圆片在几个关键波长(包括1.55微米)的厚度和变化。使用NanoCam平方测量晶圆片的表面粗糙度和晶圆区域，并依靠FlexCam量化晶圆片缺陷。
添加技术资源
测量Sub-Angstrom粗糙度
如何在嘈杂的生产环境中以亚埃的精度测量粗糙度?
请阅读本白皮书，了解选项的分解，以及不同解决方案带来的挑战的说明。
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AccuFiz SIS
测量透明、平行光学的两面，薄如200微米，多表面光学系统的表面，远程空腔测试设置，和实体空腔如etalons(激光棒)。
光学分析器
NanoCam平方系统测量表面粗糙度的涂层和未涂层精密表面，以确保抛光过程的质量。
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