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晶圆
4D.phasecam.Twyman-Green Tenferomer是测量凹形球形光学器件的行业选择,从数毫米到几乎直径的米。
4DaccufizFizeau干涉仪可以测量直径高达300mm的晶片的平坦度。独特的Accufiz Sis.测量晶片厚度和几个临界波长的变化,包括1.55微米。使用nanodam sq.测量图案化晶片的表面粗糙度和图案化区域量化晶圆缺陷。

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测量子埃径粗糙度
在嘈杂的制造环境中如何测量粗糙度的粗糙度粗糙度?
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Accufiz Sis.
测量透明,并联光学器件的两侧,如200微米,在多表面光学系统,远程腔试验设置中的表面,远程腔试验设置,如标准具(激光杆)。

光学分析器
nanodam sq.系统测量涂层和未涂层精密表面的表面粗糙度,以确保抛光过程的质量。
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