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晶圆

四维相位凸轮泰曼格林干涉仪是测量凹面球面光学元件的工业选择,直径从几毫米到几十米不等。

4D的阿库菲兹菲索干涉仪可以测量直径达300毫米的硅片的平整度。独一无二的AccuFiz SIS公司测量晶圆厚度和几个关键波长的变化,包括1.55微米。使用纳米摄像头高清测量图形晶圆的表面粗糙度和图形区域,以及量化晶圆缺陷。

新增技术资源

测量亚埃粗糙度

如何在嘈杂的制造环境中以亚埃精度测量粗糙度?

请阅读本白皮书,了解选项的详细信息,以及不同解决方案带来的挑战。

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AccuFiz SIS公司

测量薄至200微米的透明平行光学元件的两侧、多表面光学系统中的表面、远程空腔测试装置以及标准具(激光棒)等固体空腔。

相位凸轮

PhaseCam Twyman-Green干涉仪结构紧凑、抗振动、灵活性极高,是测量直径从几毫米到几十米的凹球面光学元件的工业选择。

光学轮廓仪

纳米摄像头高清系统测量涂层和未涂层精密表面的表面粗糙度,以确保抛光过程的质量。

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