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4D.phasecam.Twyman-Green Tenferomer是测量凹形球形光学器件的行业选择，从数毫米到几乎直径的米。

4DaccufizFizeau干涉仪可以测量直径高达300mm的晶片的平坦度。独特的Accufiz Sis.测量晶片厚度和几个临界波长的变化，包括1.55微米。使用nanodam sq.测量图案化晶片的表面粗糙度和图案化区域量化晶圆缺陷。

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在嘈杂的制造环境中如何测量粗糙度的粗糙度粗糙度？

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测量透明，并联光学器件的两侧，如200微米，在多表面光学系统，远程腔试验设置中的表面，远程腔试验设置，如标准具（激光杆）。

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