薄透明的光学

薄而透明的光学元件包括平面平行光学元件(如窗户)和曲面光学元件(如雷达和激光雷达穹顶)。

当测量透明光学元件时,在干涉仪的测试路径上的所有表面都有可能引起干涉。大多数光学是足够厚的,或者在它们的表面之间有一个足够大的倾斜角,只有一个表面典型地干扰参考表面。

然而,当组件很薄并且表面是平行的,两个表面都会干涉参考,导致一个复杂的干涉图,就像下图所示的一个薄玻璃圆盘。很难或不可能根据这种密集的图案来测量表面。

传统上,解决这个问题的唯一方法是在一个表面涂上一层防反射涂层,这样另一个表面就可以测量了。然后除去涂层并应用到另一个表面进行第二次测量。这是一个混乱的,耗时的操作,使光学处于被损坏的危险。

短相干源可以进行测量

对于短相干激光光源,干涉只发生在距离参考表面很窄的表面之间。使用一个短相干干涉仪,操作员可以分离一个表面来测量,甚至在多组分系统。下面的干涉图显示的是与上面图像相同的玻璃盘;但是在这里,对于一个短相干源,只有一个表面干涉。获取只需几秒钟,而且不需要涂层。

测量两个表面,以及更多,在一个单一的设置

一个短相干干涉仪可以让你测量光学的前表面,然后测量后表面通过光学,无需重新调整或重新调整系统。从这两次测量中我们还可以提取出光厚度变化和透射波前误差。增加空腔测量也能测量均匀性。

测量穹顶和其他曲面

高度弯曲的透明组件也可以用这种方式测量。然而,这些测量需要菲索干涉仪的另一个特性:最小的折回误差,这导致弯曲测量的重大误差。

短相干干涉仪具有完全的轴上设计,以最大限度地减少折回误差,而瞬时,“动态测量”确保高精度,即使在嘈杂的环境。这种组合能够精确测量穹窿,例如下面的这个。

就像平面平行光一样,穹顶的两个表面都可以在一次测试设置中测量(见下文)。参考球使波前与圆屋顶的名义形状相匹配。自动“路径匹配”机构精确定位到前后表面的距离,可依次测量。

188bet亚洲体育手机产品用于薄,透明的光学

短相干干涉仪

全轴上动态AccuFiz D Fizeau干涉仪可以测量平面平行光学以及穹顶和其他高度弯曲的部件。

表面隔离源(SIS)

4D的表面隔离源是一个可选的,外部激光源测量透明光学与一个标准AccuFiz干涉仪。你也可以计算传输波前误差,光学厚度和均匀性,所有从一个单一的测量设置。

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