MEMS

微机电系统

MEMS(微机电系统)由其中使用各种沉积和蚀刻技术制造的微型化的机械和机电元件。MEMS装置的范围从亚微米尺寸到几个毫米并从没有移动元件,到复杂的系统与许多移动元件相对简单的结构而变化。这些系统被可互换地称为MEMS,微系统或微机械加工的设备。

一个MEMS结构的主要家族的是微传感器,其将机械信号转换成电输出。这些微型传感器测量温度,加速度,压力,力,转动速度,湿度,声音,磁场和其他参数。

4D118bet网娱乐 测量晶片的平整度和粗糙度。

1188betasia 光学分析器测量在涂覆和未涂覆的晶片的粗糙度。NanoCam呎还可以测量的晶片级的设备(如微流体)和切割和包装设备(如微反射镜阵列)的形状和形状变化。

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NanoCam系统测量对涂覆和未涂覆的晶片的表面粗糙度,以及在图案化的晶片的测量装置。

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