光学光刻技术

光学为光刻应用必须坚持非常严格的容忍传输波前质量。188bet娱乐平台这些光学元件可以在深紫外光波段工作。这些测量面临着许多挑战,包括需要保护测试光学和参考光学的奇异涂层,高功率源以产生足够的光束对比,等等。

FizCam DUV动态激光干涉仪测量微光刻光学和光学系统在深紫外光(DUV)波长。在不到1毫秒的时间内获取数据,FizCam DUV可以精确测量,尽管严重振动和空气湍流典型的DUV洁净室。

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用FizCam 2000测量传输波前误差

一种振动不敏感测量传输波前误差(TWE)的新技术提高了7倍以上的重复性。

188bet亚洲体育手机光刻光学产品

FizCam DUV

FizCam DUV动态激光干涉仪测量微光刻光学和光学系统在深紫外光(DUV)波长。

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